¿Æ¼¼Ô½À´Ô½·¢´ï£¬ÎÒÃÇÿÌì¶¼ÔÚʹÓø÷ÖÖµç×ÓÉ豸£¬ÆäÖÐÀë²»¿ªµÄÓÐÊÖ»ú¡£¶øÊÖ»úµÄ³äµç£¬¸üÊÇÎÒÃÇÈÕ³£Éú»îÖбز»¿ÉÉÙµÄÒ»²¿·Ö¡£ÄÇô£¬ÄãÓÐûÓÐÏë¹ý£¬Õâ¸ö¿´ËÆÆÕͨµÄÊÖ»ú³äµçÆ÷£¬ÆäʵÄÚ²¿Òþ²Ø×ÅÒ»¿Å·Ç³£ÖØÒªµÄ¡°ÐÄÔࡱ¡ª¡ªÊÖ»ú³äµçÆ÷оƬ¡£

Ò»£¬ÈÃÎÒÃÇÀ´Á˽âÒ»ÏÂʲôÊÇÊÖ»ú³äµçÆ÷оƬ¡£¼òµ¥À´Ëµ£¬Ëü¾ÍÏñÊÇÊÖ»ú³äµçÆ÷µÄ´óÄÔ£¬¸ºÔð¿ØÖƺ͹ÜÀíµçÁ÷µÄÁ÷¶¯£¬È·±£ÊÖ»úÄܹ»°²È«¡¢¿ìËٵسäµç¡£Ã»ÓÐËü£¬ÎÒÃǵÄÊÖ»ú¾ÍÎÞ·¨Õý³£³äµç£¬ÉõÖÁ¿ÉÄÜ»áÒòΪµçÁ÷¹ý´ó¶øËð»µÊÖ»úµç³Ø¡£
¶þ£¬ÊÖ»ú³äµçÆ÷оƬÊÇÈçºÎ¹¤×÷µÄÄØ£¿µ±ÎÒÃǽ«ÊÖ»ú²åÈë³äµçÆ÷²¢´ò¿ªµçԴʱ£¬³äµçÆ÷оƬ»áÁ¢¼´¿ªÊ¼¹¤×÷¡£Ëü»á¼ì²âÊÖ»úµç³ØµÄµçÁ¿£¬È»ºó¸ù¾ÝµçÁ¿µÄ¶àÉÙÀ´µ÷ÕûµçÁ÷µÄ´óС¡£Èç¹ûµç³ØµçÁ¿½ÏµÍ£¬³äµçÆ÷оƬ»áÈõçÁ÷Ôö´ó£¬ÒÔ±ã¸ü¿ìµØÎªÊÖ»ú³äµç£»Èç¹ûµç³ØµçÁ¿½Ï¸ß£¬³äµçÆ÷оƬÔò»á¼õСµçÁ÷£¬ÒÔ·ÀÖ¹µç³Ø¹ý³ä¡£
Èý£¬ÊÖ»ú³äµçÆ÷оƬ»¹ÓÐÒ»¸öÖØÒªµÄ¹¦ÄÜ£¬ÄǾÍÊDZ£»¤ÊÖ»úµç³Ø¡£µ±ÊÖ»úµç³Ø³äÂúµçºó£¬³äµçÆ÷оƬ»á×Ô¶¯ÇжϵçÔ´£¬·ÀÖ¹µç³Ø¹ý³ä¡£Í¬Ê±£¬Èç¹ûÊÖ»úÔÚʹÓùý³ÌÖгöÏÖ¶Ì·µÈÒì³£Çé¿ö£¬³äµçÆ÷оƬҲÄܼ°Ê±ÇжϵçÔ´£¬±£»¤ÊÖ»úºÍÓû§µÄ°²È«¡£
ÄÇô£¬ÈçºÎÑ¡ÔñºÏÊʵÄÊÖ»ú³äµçÆ÷Ð¾Æ¬ÄØ£¿Õâ¸ÃÊdzäµçÆ÷ÖÆÔìÉÌ¿¼ÂÇÁË£¬ÎÒÃÇÒ²¿ÉÒÔÁ˽âÏ£ºÏÈ¿¼ÂÇÆ·ÅÆÐÅÓþºÃ¡¢ÖÊÁ¿¿É¿¿µÄ²úÆ·£¬ÔÙ¸ù¾Ý×Ô¼ºµÄÊÖ»úÐͺźÍÐèÇóÀ´Ñ¡ÔñºÏÊʵijäµçÆ÷оƬ¡£ÀýÈ磬Èç¹ûÄãµÄÊÖ»úÖ§³Ö¿ì³ä¹¦ÄÜ£¬ÄÇôÄã¾ÍÐèҪѡÔñÒ»¸öÖ§³Ö¿ì³äµÄ³äµçÆ÷оƬ¡£
Àû²©|»áÔ±|µÇ¼ÊÇÊÖ»ú³äµçÆ÷Ð¾Æ¬ÖÆÔìÉÌ£¬²»ÏÞÓÚ´ËÀàоƬ£¬±ÈÈçÊýÄ£»ìºÏоƬ¡¢MEMS´«¸ÐÆ÷µÈ£¬ºËÐļ¼ÊõÊÇ·â×°¡¢Éè¼Æ¡¢²âÊÔ¼°Éú²ú£¬¸ü¶àÏêÇé»¶ÓÀ´µç½»Á÷¡£
ÊÖ»ú³äµçÆ÷оƬËäȻС£¬µ«ËüµÄ×÷ÓÃÈ´·Ç³£´ó¡£ÊÇÊÖ»ú³äµç¹ý³ÌÖеġ°±£ïÚ¡±£¬Ò²¾ÍÊDZ£»¤ÎÒÃÇÊÖ»úµç³ØµÄÖØÒª¹¤¾ß¡£Òò´Ë£¬ÎÒÃÇÔÚʹÓÃÊÖ»úµÄ¹ý³ÌÖУ¬Ò»¶¨ÒªÖØÊÓ³äµçÆ÷оƬµÄÑ¡ÔñºÍʹÓá£
×ªÔØÇ뱸ע³ö´¦£º/sjcdqxpxxd-nlddd/